上海微电子装备（集团）股份有限公司

项目 : 上微总部三期净化厂房厂务系统改造工程 
业主 : 上海微电子装备（集团）股份有限公司
面积 : 3500 sqm
地点 : 上海, China
时间 : 2019.7月
服务范围 : 全过程设计
主要特点 : 微电子，生产28纳米光刻机